【产品中心】国产电子束光刻_电子束【电子束光刻的工艺流程】
国产电子束光刻_电子束 什么是电子束光刻? 电子束光刻是一种微细加工技术,利用电子束对光刻胶进行加工,从而在硅片上形成微细图形。电子束光刻技术是半导体工业中的重要工艺之一,广泛应用于芯片制造、光学元件制造、MEMS制造等领域。 电子束光刻的工艺流程 电子束光刻的工艺流程一般包括以下几个步骤: 1. 基础工艺准备 在进行电子束光刻之前,需要对硅片进行基础工艺准备,包括清洗、去除残留物、涂覆光刻胶等。 2. 光刻胶涂覆 将准备好的硅片放入涂覆机中,涂覆一层光刻胶。光刻胶的种类和厚度根据需要制造的微